�ձ�SMC���,�ձ�SMC���,�ձ�SMC���,SMC/39529839/39529830���Θs��
�ձ�SMC����ڸ�Ͳ����ƽ��(w��n)�����ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵġ��������_�P�Ě�׻����͸��g�h(hu��n)����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��
SMC ������O���_�b�÷Nܶ࣬����ֻ������֮һ����ȻҲ�����ښ�ӻ�·�ϲ�ȡ��ʩ���_�����_Ŀ�ġ� �M�ϽM�Ϛ��һ��ָ����cҺ������M���γɵĚ�-Һ����ס���-Һ�����׵ȡ�*��ͨ����ײ��õĹ������|�lj��s�՚⣬�����c�DŽ����죬���ٶȲ��׿��ƣ����d��׃���^��r�����׮a(ch��n)��“����”��“����”�F(xi��n)�󣻶�Һ���ײ��õĹ������|��ͨ���J�鲻�ɉ��s��Һ���ͣ������c�DŽ��������׿죬���ٶ����ڿ��ƣ����d��׃���^��r���ձ�SMC���,�ձ�SMC���,�ձ�SMC���,SMC/39529839/39529830���Θs�����ô�ʩ�î���һ�㲻���a(ch��n)��“����”��“����”�F(xi��n)�󡣰њ���cҺ��������M��������ȡ�L�a�̣����ɞ���ϵ�y(t��ng)���ձ���õĚ�-Һ����ס���-Һ����׹���ԭ��Ҋ�D42.2-5�����H�ǚ���cҺ���״�“(li��n)���ɣ��ɻ����̶���ͬһ�����U�ϡ�Һ���ײ��ñù��ͣ�ֻҪ��M�ͼ��ɣ����M�����g�b��Һ�������y����(ji��)���y���a�ͱ���������Ҷ˹���r����׿˷��d�Ɏ���Һ���׻��������\�ӣ��������Ś⣩���˕rҺ����������ͣ������y�P�]����ֻ��ͨ�^��(ji��)���y����Һ������ǻ���ͱ��ȣ��@�r�􌢹�(ji��)���y�y���_�󣬄tҺ������ǻ����ͨ�����ɻ����\���ٶȾͿ죬��֮���􌢹�(ji��)���y�y���PС��Һ������ǻ�������裬�ɻ����\���ٶȕ��p�����@�ӣ��{��(ji��)��(ji��)���y�_�ڴ�С�����ܿ��ƻ������\���ٶȡ����Կ�������Һ����׵�ݔ�������ǚ���Љ��s�՚�a(ch��n)���������������������cҺ�������͵�������֮�
�ձ�SMC������O���_�b�÷Nܶ࣬����ֻ������֮һ����ȻҲ�����ښ�ӻ�·�ϲ�ȡ��ʩ���_�����_Ŀ�ġ� �M�ϽM�Ϛ��һ��ָ����cҺ������M���γɵĚ�-Һ����ס���-Һ�����׵ȡ�*��ͨ����ײ��õĹ������|�lj��s�՚⣬�����c�DŽ����죬���ٶȲ��׿��ƣ����d��׃���^��r�����׮a(ch��n)��“����”��“����”�F(xi��n)�󣻶�Һ���ײ��õĹ������|��ͨ���J�鲻�ɉ��s��Һ���ͣ������c�DŽ��������׿죬���ٶ����ڿ��ƣ����d��׃���^��r�����ô�ʩ�î���һ�㲻���a(ch��n)��“����”��“����”�F(xi��n)�󡣰њ���cҺ��������M��������ȡ�L�a�̣����ɞ���ϵ�y(t��ng)���ձ���õĚ�-Һ����ס���-Һ����׹���ԭ��Ҋ�D42.2-5�����H�ǚ���cҺ���״�“(li��n)���ɣ��ɻ����̶���ͬһ�����U�ϡ�Һ���ײ��ñù��ͣ�ֻҪ��M�ͼ��ɣ����M�����g�b��Һ�������y����(ji��)���y���a�ͱ���������Ҷ˹���r����׿˷��d�Ɏ���Һ���׻��������\�ӣ��������Ś⣩���˕rҺ����������ͣ������y�P�]����ֻ��ͨ�^��(ji��)���y����Һ������ǻ���ͱ��ȣ��@�r�􌢹�(ji��)���y�y���_�󣬄tҺ������ǻ����ͨ�����ɻ����\���ٶȾͿ죬��֮���􌢹�(ji��)���y�y���PС��Һ������ǻ�������裬�ɻ����\���ٶȕ��p�����@�ӣ��{��(ji��)��(ji��)���y�_�ڴ�С�����ܿ��ƻ������\���ٶȡ����Կ�������Һ����׵�ݔ�������ǚ���Љ��s�՚�a(ch��n)���������������������cҺ�������͵�������֮��ձ�SMC���,�ձ�SMC���,�ձ�SMC���,SMC/39529839/39529830���Θs��
 �ձ�SMC��׵Č��H��������Փ�����ı�ֵ,�� F η= Ft ��13-3�� ���� F = η �� A1 p �� ��13-4�� ��׵�Ч��ȡ�Q���ܷ�ķN�,��׃ȱ���ͻ����U�ӹ��Ġ�B(t��i)��������B(t��i).����,�� �׵��\���ٶ�,�Ś�ǻ����,���d�ɠ�r���ܵ���B(t��i)�ȶ�����Ч�ʮa(ch��n)��һ����Ӱ�.
2�� ؓ�d��β �Č�����\�����Ե��о���֪, Ҫ�_����׵Č��Hݔ���������y��. �������о���׺ʹ_����׵ij����r,���õ�ؓ�d�ʵĸ���.��׵�ؓ�d��β���x�� β= ��׵Č��Hؓ�d F × 100 % ��׵���Փݔ���� Ft ��l3-5�� ��׵Č��Hؓ�d���Ɍ��H���r���Q����,���_���˚��ؓ�d�� θ,�t�ɶ��x���ܴ_���� �׵���Փݔ����,�Ķ�����Ӌ���׵ĸ׏�. ��������ؓ�d,����������ӊA��,ؓ�d���a(ch��n)���T����,һ���xȡؓ�d��β�� 0.8; ���ڑT��ؓ�d,�����Á����͹���,ؓ�d���a(ch��n)���T����,ؓ�d��β��ȡֵ���� β<0.65 ����׵����\��,v <100 mm/s �r; β<0.5 ����������\��,v=100��500 mm/s �r; β<0.35 ����׸����\��,v >500 mm/s �r./39529839/39529830���Θs��
3����׺Ě��� ��׵ĺĚ����ǻ���ÿ����Ƅӵ��ݷe,�Q�@���ݷe�鉺�s�՚�Ě� ��,һ����r��,��׵ĺĚ�����ָ���ɿ՚�Ě���. 4����׵����� ��׵����Է֞��o�B(t��i)���Ժ̈́ӑB(t��i)����.��׵��o�B(t��i)������ָ�c�׵�ݔ �������Ě����������P��zui�͹�������,zui�߹�������,Ħ�������ȅ���(sh��).��׵ĄӑB(t��i)���� ��ָ�ښ���\���^���К�׃�ǻ�ȿ՚≺��,�ض�,�����ٶ�,λ�Ƶȅ���(sh��)�S�r�g��׃���� �r.�����挍�ط�ӳ��׵Ĺ���. ��,��׵��x�ͼ�Ӌ�� 1.��׵��x�Ͳ��E ��׵��x�͑�����(j��)����Ҫ��͗l��, ���_�x���׵����. �����Ԇλ����U�p���øמ� ����B��׵��x�Ͳ��E. ��1����׸׏�.����(j��)���ؓ�d���Ĵ�С���_����׵�ݔ����,�ɴ�Ӌ�����׵ĸ׏�. ��2����׵��г�.��׵��г��cʹ�õĈ��Ϻ͙C�����г����P,��һ�㲻�x�ÝM�г�. ��3����׵ď��Ⱥͷ�(w��n)����Ӌ�� ��4����׵İ��b��ʽ.��׵İ��b��ʽ����(j��)���bλ�ú�ʹ��Ŀ�ĵ����؛Q��.һ����r ��,���ù̶�ʽ���./39529839/39529830���Θs��